一种高温静电卡盘及其制备方法

本发明公开一种高温静电卡盘及其制备方法，其结构包括陶瓷层和陶瓷金属基座，陶瓷层是氮化铝陶瓷或者氧化铝陶瓷的一种；陶瓷金属基座以可伐合金（主要成分是铁、镍和钴）或铝的一种为基底，添加剂为碳化硅、氧化钇、碳化钛或氧化铝、碳化硅、氧化锆。本发明的特色在于陶瓷金属基座通过结合陶瓷的耐高温、绝缘性和金属的导热优势，并通过增韧机理设计增加了韧性，解决了陶瓷的脆性问题，且组成一种高温静电卡盘的陶瓷层和陶瓷金属基座的热膨胀系数接近，可以维持高温加工时静电卡盘的表面平面度，规避陶瓷层开裂、产品整体bonding层分层或开裂问题，增加可靠性和使用寿命。