真空排气系统及真空泵

一种真空排气系统（10），用于从多个腔室（10－1～10－n）将工艺气体排气，真空排气系统（10）具备：多个涡轮分子泵（100－1～100－n）；集合管（14），将多个涡轮分子泵的排气口并联地连接；1台以上的干式泵（16），与该集合管（14）连接；以及腔室导入阀装置（30－1～30－n），控制导入到多个腔室（10－1～10－n）的气体的流量；基于多个涡轮分子泵（100－1～100－n）的能够排气的流量，设定工艺气体的排气流量阈值（T）；借助腔室导入阀装置（30－1～30－n），对气体的导入时机及流量中的至少一方进行控制，以使其不超过该排气流量阈值（T）。