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기록

具有中空结构的部件和光学组件

발명유효
3조회수
18청구항 · 9 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

M·克拉斯纳; T·蒙兹; C·格里森冈萨雷斯; C·特拉辛格

IPC 분류

G02B 7/00 (2021.01)G03F 7/20 (2006.01)

本发明涉及一种部件,特别是光学元件(Mi)或结构部件部分,包括:主体(25),包括流体可流过的中空结构,该中空结构具有多个冷却通道(31)、流体分配器(33)和流体收集器(34),其中,为了将流体供应到冷却通道(31),流体分配器(33)包括连接通道(33b),该连接通道通向与入口开口(29)连接的公共入口通道(33a),和/或其中,为了从冷却通道(31)排出流体,流体收集器包括连接通道,该连接通道通向与出口开口连接的公共出口通道。根据本发明的一个方面,所述入口通道(33a)具有从邻近入口开口(29)的连接通道(33b')开始减小的流动横截面(A)和/或所述出口通道具有从邻近出口开口的连接通道开始减小的流动横截面。