在工件检验期间成像数千个电子束

使用单个全局准直透镜下游的孔隙阵列从电子束产生小束。引导所述小束穿过在所述小束的路径中在所述孔隙阵列下游的图像透镜阵列，使用所述图像透镜阵列将所述小束个别地聚焦到中间图像平面上。接着使用在所述图像透镜阵列下游的转移透镜阵列将所述小束引导于载物台上的工件处。所述小束的路径不包含交叉。