用于激光维持等离子体宽带光源的蓝宝石灯

本发明公开一种激光维持宽带光源。所述光源可包含用于等离子体产生的气体围阻结构。所述气体围阻结构可包含：第一部分，其由第一等级的蓝宝石形成；及第二部分，其由第二等级的蓝宝石形成。所述第一部分耦合到第二等级蓝宝石的所述第二部分的一或多个区段。所述光源可包含所述第一部分的所述第一等级蓝宝石与所述第二部分的所述第二等级蓝宝石之间的蓝宝石到蓝宝石接合，借此消除金属到蓝宝石钎焊且避免金属组件暴露于破坏性UV及/或VUV光。所述光源可包含：主激光泵浦源，其经配置以将主泵浦光束引导到所述气体围阻结构中以维持等离子体；及集光器元件，其经配置以收集从所述等离子体发射的宽带光。