一种带循环盐水接地电极的低温控温等离子体原位池装置及方法

本发明公开了一种带循环盐水接地电极的低温控温等离子体原位池装置及方法。该装置包括等离子体原位反应池、循环冷却水系统、等离子体发生器和配气系统。其创新点在于：采用循环盐水石英接地电极组件，循环盐水作为导电介质构成接地电极，同时作为冷却介质；催化剂直接与石英器件外壁接触，循环盐水通过石英壁面移走催化剂床层产生的热量，实现放电区域的直接控温；该装置通过更换上壳盖和窗口材料，可同时适用于原位红外漫反射光谱、拉曼光谱和原子发射光谱表征。本发明结构简单，能长时间维持低温反应，避免等离子体放热引起催化剂升温，为等离子体催化协同反应机理研究提供了可靠的原位表征手段。