一种面向热沉材料的金刚石激光切片方法、系统及金刚石热扩散片

本发明提供一种面向热沉材料的金刚石激光切片方法、系统及金刚石热扩散片，该方法包括如下步骤：S1、对待切片金刚石坯料进行检测，并确定目标切片面位置；S2、在目标切片面位置的周边形成边缘释裂槽；S3、采用第一激光束沿目标切片面位置对待切片金刚石坯料内部进行埋层扫描，形成连续或准连续的埋层改质区；S4、采用第二激光束对所述边缘释裂槽进行辅助照射，使所述埋层改质区与边缘释裂槽贯通并形成可控分离界面分离；S5、对所述金刚石坯料施加低载荷分离，使其沿所述可控分离界面分离为热沉片和母体余料。本发明通过内部埋层改质和后续低载荷分离实现切片，而非依赖整厚机械磨除，因此切缝损耗显著低于传统线切割。