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Dossier

硅片及硅片切割方法

InventionUnknown
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§ Ⅰ

Dossier Overview

Inventor

李方乐; 刘鑫; 马云山

Filing Date

Aug 31, 2026

Publication Date

Oct 16, 2026

IPC Classification

B28D 5/04 (2006.01)B28D 7/00 (2006.01)

本公开提供一种硅片及硅片切割方法,硅片包括第一切割面,第一切割面包括棱边,以及靠近棱边的外周部分和位于外周部分背离棱边一侧的中心部分;外周部分包括防崩部,防崩部至少包括第一构造面,第一构造面与第一切割面所在的平面相交。可使得作用在防崩部上的外力分散成多个方向,以缓释外力,减少硅片被外力导致的碎裂。由于硅片切割完成之后,操作人员在取出或放置硅片时通常接触的是硅片的棱边附近,因此,在硅片靠近棱边的位置设置防崩部,可通过防崩部的特殊构造,缓释外力,有效减少崩边或隐裂。

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