晶圆检测打包设备

本发明提供了晶圆检测打包设备，其针复合多种芯片的晶圆进行一体式在线分选、检测和打包作业，提高了生产效率，且节约了土地成本。其包括：晶圆上下料天车系统；晶圆放置区；芯片分选机械手；芯片检测机构，其包括第一环形转盘，第一环形转盘上沿着转动方向顺次设置有芯片上料工位、芯片种类识别工位、隐裂检测工位、背面AOI检测工位、隐裂NG下料工位、背面AOI检测NG下料工位、OK芯片出料工位；芯片转运机械手；料盘放置转盘，其包括第二环形转盘，第二环形转盘上沿着环周均布有若干组料盘放置座；料盘转运机械手；料盘叠装区，包括第三环形转盘，第三环形转盘上沿着环周均布有转盘叠装工位；打包区；以及料盘天车转运系统。