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기록
芯片、MEMS封装结构及电子设备
발명알 수 없음
2조회수
11청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
IPC 분류
B81B 3/00 (2006.01)H04R 19/00 (2006.01)H04R 7/02 (2006.01)H04R 7/16 (2006.01)B81B 7/00 (2006.01)B81B 7/02 (2006.01)
本申请提供了一种芯片、MEMS封装结构及电子设备。所述芯片包括:基底,基底开设有声孔;振膜和背板,振膜连接于基底,背板连接于振膜背离基底的一侧;或者,背板连接于基底,振膜连接于背板背离基底的一侧;背板开设有多个音孔,多个音孔与声孔相对设置;振膜形成有第一区域和第二区域,第一区域与至少一个音孔相对设置;第一区域的电导率与第二区域的电导率不同,或者第一区域的掺杂类型与第二区域的掺杂类型不同。本申请能够提高MEMS封装结构的灵敏度和信噪比。