位置确定方法、半导体制备设备、位置确定装置及计算机存储介质

本申请公开了一种支撑单元的位置确定方法、半导体制备设备、位置确定装置及计算机存储介质，涉及半导体制备技术领域，该方法应用于目标设备，目标设备中设有支撑单元，支撑单元由多个支撑体构成；包括：确定一个或多个包含多个支撑体的初始位置的初始位置组合，初始位置为支撑体在预设位置范围内的候选安装点；确定各初始位置组合对应的被支撑对象的第一重心与支撑单元的第二重心的目标距离，和支撑单元的第二面积与被支撑对象的第一面积的目标比值；根据目标距离和目标比值在初始位置组合中确定设置支撑单元的目标位置组合。根据目标距离和目标比值在初始位置组合中筛选出目标位置组合设置支撑单元，提高了基板运动稳定性以及基板成膜均匀性。