一种直拉单晶硅浸入式掺杂装置及掺杂方法

本发明涉及一种直拉单晶硅浸入式掺杂装置及掺杂方法。该浸入式掺杂装置，配合一直拉单晶炉设置，包括：杯体，其顶部具有一上端敞口以盛放掺杂剂的第一空腔，且其侧壁上设置有若干个侧部扰流板并开设有若干个靠近杯体底部的第一通孔，其底壁上设置有若干个底部导流板并开设有若干个第二通孔；盖体，其底部具有一下端敞口并至少部分套设于所述杯体上端以配合所述第一空腔组成物料腔室的第二空腔，且其上部具有至少一个用于所述直拉单晶炉炉内装载的连接孔；其中，所述杯体与所述盖体可拆卸连接以组成所述掺杂装置。本发明实现了掺杂剂的平稳、可控释放，促进液化掺杂剂在硅熔体中的均匀混合，避免了炉膛沾污，并大幅提升了重掺单晶硅的制备质量。