一种隔膜式化学品供液系统及涂胶显影设备

本申请涉及供液装置领域，具体为一种隔膜式化学品供液系统及涂胶显影设备，隔膜式化学品供液系统包括：包括至少一个隔膜式供液泵，其内腔通过隔膜分为压缩腔和储液腔，且分别设置有与压缩腔流体相通的驱动接头以及与储液腔流体相通的补液接头、排液接头和供液接头；补液组件、排液组件、供液组件分别与补液接头、排液接头、供液接头连接；驱动组件与驱动接头连接以向压缩腔内输送或抽出气体，为隔膜式供液泵提供动力源；通过对压缩腔抽真空，使隔膜形变以扩大储液腔容积，实现负压平稳补液，避免传统正压注入所产生的液体飞溅与气泡混入；再通过对压缩腔输送正压气体，推动隔膜平稳挤压储液腔进行供液，保障了液体输出的稳定与精准。