防倒灌装置、工艺气体输送管路及其控制方法

本申请公开了一种防倒灌装置、工艺气体输送管路及其控制方法，防倒灌装置包括：供气管件，所述供气管件具有相互连通的第一管段、第二管段及第三管段，所述第一管段具有用于接收吹扫气体的第一端口，所述第二管段具有用于接收工艺气体的第二端口，所述第三管段具有用于与前级管路连通的第三端口；控制系统，所述控制系统具有控制器、用于控制所述第一管段流量的第一流量调节部件及用于检测所述第三管段或所述前级管路内部压力的第一压力传感器；其中，所述控制器能够接收所述第一压力传感器的第一检测数值，并依据所述第一检测数值控制所述第一流量调节部件，以调节所述第一管段内的气体流量。以避免气流倒灌，防止颗粒污染。