一种谐振子轮廓在线检测方法

本发明公开一种谐振子轮廓在线检测方法，首先在初始位置下调整光学探头到工作位置，然后连续旋转工件轴，测量光学探头到谐振子外表面的距离值以及谐振子的厚度值。通过旋转机床加工轴带动光学探头沿谐振子纬度方向旋转，使光学探头对准谐振子的多个纬度截面，然后连续旋转工件轴，测量得到多个截面下光学探头到外球面轮廓的距离，及相应纬度位置谐振子的厚度。测试完成后将光学探头测头坐标系相对于机床主轴坐标系的运动变换分解为矢量平移，计算得到内、外球面轮廓的点云坐标，通过最小二乘、神经网络或机器学习等算法拟合内、外球面的球心坐标和内、外球面的球径，最后对内、外球面的面形精度等指标进行评价。具有非接触、在线检测优势，通过一次检测过程实现谐振子内、外球面的三维高精度轮廓评价，解决了现有测试方法只能实现谐振子外球面轮廓测量或内、外球面轮廓同时测量时测量结果精度低的问题。