一种微棱锥模具加工刀具角度精密测量装置及方法

本发明涉及超精密加工、微纳光学检测技术领域，尤其涉及一种微棱锥模具加工刀具角度精密测量装置及方法。其结构包括激光发射模块、立方分束器、光束偏转器、反射元件、成像探测器、图像处理系统、带六维调节机构的安装夹具、数据处理单元；立方分束器分出两束平行光束，经旋转双光楔光束偏转器分别照射刀具两个待测刃面。本发明通过两路光束对刀具两侧刃面进行同步测量，避免传统分次装夹、分次测量方式引入的重复装夹误差，从而提高测量重复性；借助旋转双光楔光杠杆实现高精度光束调控，刀角测量精度达±0.01°；可检测尺寸≤5mm微小刀具及不透明红外光学元件，成本较低，适用于车间现场刀具质量管控。