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可快速调节的单晶硅棒粘接装置
발명알 수 없음
4조회수
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§ Ⅰ
개요
발명자
陈元寿; 马玉怀; 王黎光; 杨凯; 魏瑶; 兰正东; 殷效财; 田建兵
출원일
Jun 30, 2026
공개일
Oct 16, 2026
IPC 분류
G01N 33/00 (2006.01)G01V 8/10 (2006.01)F16B 11/00 (2006.01)
本发明属于硅棒粘接设备技术领域,特别涉及一种可快速调节的单晶硅棒粘接装置,用以解决现有技术中的粘接装置调整繁琐、费时费力、效率低下、调整精度低的技术问题。包括:工作台设置于装置上部,用于承载粘接基板;横移机构沿水平横向贯穿工作台中部,用于带动工作台沿水平横向进行移动调节;纵移机构设置于工作台下方,用于带动工作台沿水平纵向进行移动调节;总基台设置于纵移机构下方,用于对纵移机构和横移机构进行支撑;总基座固定设置于总基台底部,用于支撑总基台;姿态调节机构设置于总基台的下方,用于驱动总基台,进而驱动工作台进行多角度倾斜的调节。与现有技术相比,本发明减少了作业量,提高了作业效率,提高了调节精度。