微波谐振频率测量方法、装置及系统

本发明提供一种微波谐振频率测量方法、装置及系统，涉及微波谐振频率测量技术领域，该方法包括：获取谐振腔的实时工况参数，其至少包括当前温度与当前压力；基于实时工况参数，利用扫频预测模型确定扫频范围，并在扫频范围内获取谐振腔的散射参数数据；采用有理函数线性逼近算法对散射参数数据进行线性迭代，求解有理函数分母多项式的根，得到谐振频率的初始估计值；有理函数线性逼近算法将非线性分式逼近问题转化为线性最小二乘问题；以谐振频率的初始估计值作为迭代起始点，代入复数域洛伦兹物理模型，执行非线性最小二乘拟合迭代，得到微波谐振频率测量值。本发明可自动适应宽温区、变压工况，实现微波谐振频率的高效、快速、高精度测量。