功率分立器件的热阻检测方法、系统及压控一体化探针台

本申请提出一种功率分立器件的热阻检测方法、系统及压控一体化探针台，热阻检测方法包括：在多个预设温度下，待测功率分立器件处于零偏置状态，探针接触压力保持恒定，获取散射参数；将散射参数转换为阻抗参数，得到回路寄生电阻；基于预设温度和回路寄生电阻，确定标定关系，在冷却阶段，在探针接触压力恒定且待测功率分立器件处于零偏置状态下，输入频域扫频激励信号，获取瞬态回路寄生电阻；根据回路寄生电阻对应的标定关系和瞬态回路寄生电阻，确定待测功率分立器件的结温冷却曲线；基于结温冷却曲线，提取待测功率分立器件的分层热阻。本发明通过零偏置工况下的频域多寄生电阻同步标定，对器件多条独立散热回路开展分层热阻精准定量检测。