三维矢量磁传感器及其制备方法

本发明公开了一种三维矢量磁传感器及其制备方法，所述三维矢量磁传感器包括：衬底；功能层，位于衬底上，功能层包括第一区域和第二区域，第一区域的功能层中形成有霍尔传感单元，霍尔传感单元用于感测Z轴方向的磁场；绝缘层，位于衬底上且包覆霍尔传感单元和第二区域的功能层；第一XMR传感单元和第二XMR传感单元，间隔设置于绝缘层上，第一XMR传感单元用于感测X轴方向的磁场，第二XMR传感单元用于感测Y轴方向的磁场；其中，第一XMR传感单元和第二XMR传感单元设于霍尔传感单元上的绝缘层上，或第一XMR传感单元和第二XMR传感单元设于第二区域的功能层上的绝缘层上。本发明的三维矢量磁传感器能够实现X、Y、Z三轴方向磁场的灵敏探测。