主被动一体式显微测距装置及包含其的自动对焦装置

本申请提供了一种主被动一体式显微测距装置及包含其的自动对焦装置，属于显微成像技术领域，以解决现有对焦装置主动对焦易失效，被动对焦速度慢的问题。其中，第一分束镜和第三分束镜依次设置于红外发生器发出入射光束的光路上，第三分束镜被配置为将入射光束反射至待测样品并可以在待测样品表面产生反向的反射光束，且第三分束镜可以透过可见光束以完成被动测距；线阵探测器设置于反射光束在第一分束镜处的反射光路上，用于接收返回的近红外光并根据其在线阵探测器上的成像位置判断离焦方向。本申请主动对焦快且抗干扰，被动修正精度高，结构紧凑兼容目镜。