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一种真空虚拟阴极的控制方法及系统

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§ Ⅰ

개요

발명자

王行行; 樊彩连; 李建泉

출원일

May 22, 2026

공개일

Oct 16, 2026

IPC 분류

G05B 19/042 (2006.01)H01J 1/13 (2006.01)

本发明涉及一种真空虚拟阴极的控制方法及系统,真空腔的上端固定安装阴极驱动器和灯丝绝缘支架,灯丝绝缘支架上设置阴极灯丝,阴极灯丝连接有阴极加热电路,阴极加热电路对阴极灯丝施加加热电流形成电子发射电流,真空腔的下端通过阳极绝缘支架连接阳极,阳极与阴极灯丝之间设置阴极扫描偏压电路,阴极扫描偏压电路在阳极和阴极灯丝之间施加不同的偏置电压获得并控制电子收集电流,真空腔上通过红外测温仪对阴极灯丝加热温度进行测量,阴极扫描偏压电路及阴极加热电路共同连接至采集卡,采集卡、阴极驱动器及红外测温仪均连接至计算机,根据采集卡采集的电流及温度计算虚拟阴极的电势和宽度。本发明能够实现虚拟阴极的电势及宽度测量及大小控制,系统完善且高效。