一种工业级多工位水平区熔提纯全自动控制系统及方法

本发明公开了一种工业级多工位水平区熔提纯全自动控制系统及方法，属于半导体材料提纯自动化技术领域。系统包括多工位视觉测量子系统、智能协同控温子系统、加热单元移动控制子系统、多工位协同调度模块和中央控制器。视觉测量子系统采用双侧相机阵列采集各工位熔区宽度；智能协同控温子系统基于多热源耦合补偿和前馈反馈复合控制计算目标功率；协同调度模块为每个工位维护独立工艺状态机，实现视觉采集的分时复用调度、测量‑控温‑移动的时序同步和异常分级处理。本发明首次实现了工业级多工位水平区熔提纯设备的全自动化闭环运行，在有限硬件资源下完成全工位覆盖，单次闭环周期达秒级，支持无人值守连续生产，并具备完善的安全保护机制。