一种半导体膜状掺杂源全工序自动化生产管控系统及方法

本发明涉及半导体膜状掺杂源生产管控技术领域，具体地说，涉及一种半导体膜状掺杂源全工序自动化生产管控系统及方法。其系统包括预处理配料基线预置模块、成膜协同管控模块、扩散剂量场评估模块和跨工序闭环修正模块。首先获取目标配方和原料状态生成工艺基线向量，采集浆料特性生成浆料特征矩阵；通过构建耦合敏感度矩阵标识冲突参数，经解耦虚拟通道生成控制指令执行成膜操作；对成膜产物进行面阵扫描检测构建扩散剂量场，将面内非均匀度分解为厚度、浓度和耦合三个分量；基于膜层厚度面阵设定切割参数执行切割。本发明实现了膜状掺杂源生产全工序的自动化管控，有效解决了成膜工序中厚度与浓度的耦合矛盾，保证了批次间产品一致性。