晶圆缺口检测方法

本申请涉及一种晶圆缺口检测方法，包括：获取晶圆的灰度图像，在灰度图像处划分出晶圆区域；在晶圆区域的边缘限定一环形区域；将环形区域中像素的极坐标转换为直角坐标，使环形区域转换为展开图；通过采样窗口在展开图上依次采集各个区域内像素的灰度均值；计算相邻区域间灰度均值的差值；当差值大于第一预设值时，获取目标区域；逐行计算目标区域内相邻像素间的灰度差值，若灰度差值大于第二预设值，记录当前像素为采样点；基于采样点的坐标，获取缺口的位置信息；本申请可基于图像特征自适应快速且准确识别定位缺口，无需人工裁剪模板或设置匹配阈值，提高检测精度与生产效率。