一种阻隔ITO膜及其制备方法和应用

本发明涉及功能薄膜与微电子封装技术领域，尤其涉及一种阻隔ITO膜及其制备方法和应用，所述膜从下至上依次包括基板、底层ITO、金属导电层、智能响应复合阻隔层、缓冲层和顶层ITO。其中，智能响应复合阻隔层由聚（磺基甜菜碱甲基丙烯酸酯）水凝胶与均匀分散其中的MXene纳米片经紫外光固化交联形成，其制备方法包括：在沉积有金属层的基板上，涂布复合浆料并经干燥、紫外固化形成智能响应层，再依次沉积氧化铝缓冲层与顶层ITO，本发明利用两性离子水凝胶的离子束缚与溶胀特性，协同MXene的物理阻隔与导电性，在显著提升薄膜耐电化学腐蚀性与可靠性的同时，首次赋予了其基于电阻变化的失效早期智能预警能力。