双NA紧凑型宽带光源及晶圆量检测系统

本发明提供了一种双NA紧凑型宽带光源及晶圆量检测系统，属于工业视觉的光源领域，双NA紧凑型宽带光源包括激光泵浦模块、光束整形模块、光源腔室、分光式玻璃椭球镜、灯泡、球面反射镜、高压驱动模块以及光源输出窗口；分光式玻璃椭球镜采用光学玻璃作为椭球反射镜基底且镜面镀光谱选择性介质膜。本申请利用介质膜的光谱分频特性，实现泵浦激光高反、目标广谱光高透的分光工作机制，椭球镜后置球面反射镜构建折返收光通路，形成正向直通+背向折返的全域双路收光体系，实现超大NA泵浦与超大NA全域收光；方案适配性高，可用于半导体精密量检测、传感器高精度标定、嵌入式集成检测设备及生化光谱分析等多类场景，工程实用性更强。