用于激光波导中频率噪声减少的横向接地结构

本公开涉及用于激光波导中频率噪声减少的横向接地结构。波导结构包括从上部包层在竖直方向上向外延伸的波导脊。该波导脊由以层堆叠布置的非故意掺杂间隔层、上部包层以及接触层形成。未掺杂间隔层被布置在波导芯层上，并且从波导芯层在竖直方向上延伸以形成突起，该突起形成波导脊的部分底部部分。上部包层横向包围并且延伸覆盖未掺杂间隔层的上部表面，以形成波导脊的周边部分和中间部分。接触层被布置在上部包层上以形成波导脊的上部部分。接地欧姆接触被布置在主波导脊上，接地欧姆接触与接触层接触。