一种叠层压电功能层及其制备方法和体声波谐振器

本发明属于微电子与MEMS制造技术领域，具体涉及一种叠层压电功能层及其制备方法和体声波谐振器。所述制备方法包括：在真空条件下，对第一晶圆分别进行不同等离子体的活化处理；以第一晶圆与第二晶圆的压电薄膜层作为键合面，将活化处理后的第一晶圆与第二晶圆直接键合，在键合界面处形成非晶过渡层，得到叠层压电功能层。本发明通过将第一晶圆与第二晶圆的压电薄膜进行晶圆级异质键合集成，避免了传统依次沉积工艺中压电薄膜质量逐层劣化的问题，确保了叠层结构中各层压电薄膜均具有高结晶质量和低缺陷密度，从而能够显著提升体声波谐振器的有效机电耦合系数与品质因数，适用于高频、大带宽的射频前端滤波器应用。