一种氧化铪基铁电薄膜电容器及其制备方法

本发明公开了一种氧化铪基铁电薄膜电容器及其制备方法，包括：由下至上依次设置的：衬底层、第一电极层、氧化铪铁电层、电极牺牲层、第二电极层，其中，第一电极层与第二电极层所用电极相同；其次，所述铁电层的顶部界面/底部界面氧原子比在0.9‑1.1；所述电极牺牲层是由氧化性强于第一和第二电极层的材料在退火过程中被完全氧化形成的多组分化合物，厚度为1～3nm，电极牺牲层的设计，提高了氧化铪铁电层中氧空位的浓度及分布均一性，从而有效提高氧化铪基铁电薄膜铁电性，耐久性能和减弱唤醒效应。