一种叠加正面选择发射极工艺的高效TOPCon太阳能电池制作方法

本发明公开了一种叠加正面选择发射极工艺的高效TOPCon太阳能电池制作方法，先对N型硅片进行前道预处理及整面硼扩散，形成全域高方阻掺杂层；随后采用喷墨打印技术，将热熔蜡精准打印在电池正面预设银浆印刷区域并固化形成刻蚀掩膜；对非保护区域进行定向刻蚀，使保护区域保留低方阻结构以降低接触电阻，非保护区域形成高方阻结构以减少少子复合；最后用碱液剥离溶解热熔蜡，完成后续电极制备及成品成型。本发明摒弃传统高能激光推进工艺，避免硅片损伤，精准构筑高低结结构，通过降低接触电阻、减少复合提升电池开路电压，实现电池效率增益；同时工艺精度高、能耗低、成本低，适配现有量产产线，易推广应用，可广泛用于TOPCon高效太阳能电池的规模化生产。