一种半导体设备密闭性检测装置

本发明涉及密闭检测领域，特别是一种半导体设备密闭性检测装置，包括环绕安装固定在法兰式圆周检测点位处的环轨结构，沿环轨结构进行周向移动的移动机构，在移动机构上安装有超声检测机构；所述环轨结构由至少两个轨道机构首尾连接组成，所述轨道机构包括弧形板和径向贯穿安装在弧形板上的夹紧构件，所述弧形板的两端分别固定有插头和插座，所述插头能够插入所述插座内同时被销轴横向贯穿，形成相邻的两个弧形板转动连接；所述夹紧构件包括与所述弧形板贯穿滑动连接的双杆架，及固定在所述双杆架内端的夹板，所述夹板与所述弧形板之间设有弹簧。本发明能够快速装夹在法兰式圆周检测点位处进行周向扫描检测。