晶圆膜层的量测方法

本申请提供一种晶圆膜层的量测方法，应用于原子力显微镜上，包括识别视野范围内的在线晶圆，在线晶圆表面形成有金属膜层，在线晶圆的边缘非功能区的金属膜层上形成有定位标记点；识别定位标记点并完成在线晶圆的坐标对准；采用非接触模式对金属膜层进行分段式扫描，得到各段扫描区域内的金属膜层表面的形貌高度数据；利用形貌高度数据确定每段扫描路径下的量测终点与量测起点的高度差值；利用多组高度差值获取金属膜层的形貌趋势图像，形貌趋势图像用于反映金属膜层的检测结果。如此设计能够对在线晶圆上的金属膜层进行有效的无接触式的量测监控。