带有不对称性敏感测量的垂直分辨计量

提供了一种用于OCD计量的系统和方法，该系统和方法包括将系统的干涉仪反射镜设置在多个位置z中的每一个处，以及在应用不对称性敏感测量参数的第一设置的同时，测量从较低表面和较高表面反射的干涉仪信号的光谱，由此创建多个光谱的集合。随后，确定表示反射信号的相干部分的函数，并且将该函数变换到时域，以生成表示反射信号的相干部分的第一信号特征。随后，针对不对称性敏感测量参数的第二设置重复该过程，以生成第二信号特征。第一信号特征与第二信号特征之间的差异的度量指示该结构的不对称性的度量。