用于混合式接合的氧化铝隔离

一种准备用于进行混合式接合的基板的方法，透过在执行所述混合式接合工艺之前在所述基板上的金属触点周围形成隔离阻障层，以将所述金属触点与氧化铝(AlO)接合层分隔开。一种方法可包括在所述基板上形成氧化铝层作为进行混合式接合工艺的接合层，其中所述氧化铝层形成在所述基板上不同于所述氧化铝层材料的介电材料上，从而在所述基板上形成穿透所述氧化铝层的金属触点，及在所述金属触点周围形成隔离阻障层，其中所述隔离阻障层在所述混合式接合工艺的退火工艺期间阻止所述氧化铝层中靠近所述金属触点的相邻部分完全覆盖所述金属触点的最上层接合表面。