一种水压自适应超灵敏大量程柔性触觉传感器

本发明公开了一种水压自适应超灵敏大量程柔性触觉传感器，包括下封装层、微流道、主传感腔体、辅平衡腔体、电源线、信号线、导电流体、绝缘流体和上封装层，整体为主‑辅双腔体全密封无气结构；主传感腔体填充导电流体，辅平衡腔体填充绝缘流体，二者通过微流道内的液‑液界面连通，静水压力下两腔体压力均衡，从原理上消除水深对传感信号的干扰，实现水压自适应。微流道采用蛇形结构，检测灵敏度仅由流道截面积与材料属性决定，量程可通过延长流道总长度独立扩展，打破灵敏度与量程的互斥关系；同时通过匹配材料模量与微流道的横截面积参数，可抵消材料非线性效应，实现全量程线性输出，可广泛应用于水下机器人触觉感知场景。