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Dossier
膜形成设备、膜形成方法、物品制造方法、非暂时性计算机可读存储介质和计算机程序产品
InventionUnknown
15Claims · 5 independent
§ Ⅰ
Dossier Overview
Inventor
青木勇气; 鸟居弘稔; 安延蔵
Filing Date
Apr 7, 2026
Publication Date
Oct 20, 2026
IPC Classification
G03F 7/00 (2006.01)
本公开提供一种膜形成设备，其通过使用模具在基板上形成可固化组合物的膜，所述膜形成设备包括：传送单元，所述传送单元被配置为传送所述基板；观察单元，所述观察单元被配置为在模具不能从所述基板上的可固化组合物分离并且所述模具从卡盘脱卡的情况下观察所述模具和所述基板的堆叠体；以及控制单元，所述控制单元被配置为基于所述观察单元的观察结果来决定用于传送所述堆叠体的传送条件，并且根据所述传送条件控制所述传送单元。
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