在制造系统控制器的更新过程期间的输入/输出(IO)处理

本文提供了用于在制造系统控制器的更新过程期间进行输入/输出(IO)处理的方法及系统。由系统控制器的IO驱动器在工艺腔室的部件与系统控制器的基板工艺IO处理器之间传送第一通知。基板工艺IO处理器执行与工艺配方对应的基板工艺控制指令。第一通知对应于与基板工艺控制指令相关联的操作。判定基板工艺控制指令要更新。检测到基板工艺已终止。在工艺腔室的部件与系统IO处理器之间传送第二通知。系统更新IO处理器执行系统更新控制指令，所述系统更新控制指令包含多个命令，这些命令被配置为使工艺腔室的部件在基板工艺控制指令被更新的同时将工艺腔室的环境维持在目标条件。