模型构建方法及装置、形貌量测方法、存储介质

本申请公开了一种模型构建方法及装置、形貌量测方法、存储介质，属于半导体检测技术领域。该方法包括：根据待测结构确定目标构建块组，并确定每个构建块对应的函数集；基于目标构建块组对待测结构进行分段；对每个分段结构执行初始截面曲线确定步骤；对每个初始截面曲线执行重构截面曲线确定步骤，包括：将初始截面曲线划分为多个线单元，基于初始截面曲线及其对应的多个线单元，确定重构截面曲线，基于多个重构截面曲线及其对应的切片，确定分段结构的模型，进而构建待测结构的模型。本申请能够将构建块之间复杂曲面边界交叠计算转变为线单元之间的重叠点计算、截断和重构，显著降低计算复杂度，满足快速、稳定地构建模型的需求。