一种用于飞行刺晶的多层宏微运动系统及实时控制方法及系统

一种用于飞行刺晶的多层宏微运动系统及实时控制方法，包括如下步骤：在进行飞行刺晶时，采用高帧率工业相机，对UV膜或蓝膜上的待转移芯片进行连续拍摄，获取图像信息；基于图像信息获取芯片的实时坐标，将实时坐标与理论坐标进行比较，获取瞬时误差；刺晶移动设备保持原有的移动轨迹；通过补偿值生成电流信号，通过电流信号驱动刺针所安装的磁浮动子，实现刺针的运动补偿；在完成刺针的运动补偿，基于刺晶移动设备的运动方向，生成刺针划膜的轨迹。本发明通过高帧率视觉反馈实现了对每一颗芯片位置误差的逐颗实时检测与补偿，彻底摆脱了对离线预规划与预测模型的依赖，能够自适应膜变形、平台振动等动态干扰，显著提升飞行刺晶的对位精度与良率。