太阳能电池及其制造方法

公开一种制造太阳能电池的方法，其包括在基板的一个表面上形成第一半导体层的步骤，其中，形成第一半导体层的步骤包括形成非晶半导体层的步骤和重复进行包括使非晶半导体层的至少一部分结晶化的步骤的循环的步骤，其中，形成非晶半导体层的步骤包括供应含硅气体和第一气体的步骤，并且使非晶半导体层的至少一部分结晶化的步骤包括形成包括第二气体的等离子体的步骤。