一种亚微米级均粒球形二氧化硅的硅酸酯协同水解制备方法

本发明公开了一种亚微米级均粒球形二氧化硅的硅酸酯协同水解制备方法，涉及无机非金属粉体材料制备技术领域。该方法以四乙氧基硅烷和甲基三乙氧基硅烷为复合硅源，在醇‑水体系中采用氨催化协同水解与缩聚反应，通过控制复合硅酸酯比例、水解速率、氨浓度及滴加方式，实现亚微米级球形二氧化硅颗粒的均匀成核与受控生长。所得二氧化硅颗粒球形度高，团聚率低，比表面积大，具有优异的分散稳定性与流动性。本发明工艺简单、重复性好、易于连续化放大，适用于电子封装填料、CMP抛光材料、涂层添加剂及精细化工载体等领域。