一种分区脉冲式PEALD镀膜工艺

本发明公开了一种分区脉冲式PEALD镀膜工艺，包括硅片分区等离子预处理、分区臭氧分步脉冲循环PEALD沉积、梯度压力动态分区调控、同腔原位沉积掺杂非晶硅钝化层，通过延长边缘区硅源、臭氧脉冲时长，弥补大硅片边缘前驱体扩散不足，缓解边缘膜厚偏薄缺陷；配合边缘区大流量分区吹扫，快速带走硅片侧边吸附的富余前驱体，减少正面、侧边绕镀；同时臭氧氧化活性高，可缩短单步反应时间，降低前驱体横向扩散范围，进一步抑制绕镀生成。由此可降低片内膜厚不均匀性，减少硅片边缘漏电缺陷，简化后端碱抛、激光开槽工序，降低加工成本并提升电池良率。