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Dossier
一种掺杂氧化镓粉末的制备方法及其应用
InventionUnknown
10Claims · 2 independent
§ Ⅰ
Dossier Overview
Inventor
张辉; 马可可; 王嘉斌
Filing Date
Sep 15, 2026
Publication Date
Oct 27, 2026
IPC Classification
C30B 35/00 (2006.01)C30B 29/16 (2006.01)C30B 33/00 (2006.01)C01G 15/00 (2006.01)
本发明涉及半导体材料制备技术领域，具体而言，涉及一种掺杂氧化镓粉末的制备方法及其应用。所述的掺杂氧化镓粉末的制备方法，包括以下步骤：（a）将氯化镓固体进行第一烧结处理；（b）将所述第一烧结处理后的产物进行第一脉冲气态掺杂处理、第二脉冲气态掺杂处理、氧化处理、扩散均化处理和冷却。所述的掺杂氧化镓粉末的制备方法，在氧化镓的固相烧结阶段，以气态掺杂源的形式、采用脉冲式多次注入的方式引入掺杂元素，实现掺杂元素在氧化镓晶格形成过程中的原位掺杂。
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