一种平扫双层解析X射线吹膜在线测厚装置

本发明公开了一种平扫双层解析X射线吹膜在线测厚装置，包括机架、微间隙负压稳膜机构、平扫机构、驱动机构、校准机构和负压稳膜与吹扫机构。微间隙负压稳膜机构包括上下相对设置的下微负压稳膜板和上微负压稳膜板，二者之间形成供双层膜通过的微间隙通道，并通过气流均压腔和多个负压稳膜微孔对双层膜两侧形成气流稳膜作用。平扫机构中的X射线源和X射线接收器随扫描架同步沿双层膜宽度方向移动，实现在线平扫测厚。该装置能够降低双层膜在测量区域内的抖动、偏摆和贴附不稳的问题，提高X射线透射路径稳定性及幅宽方向测厚一致性。