一种多工作模式的温度检测装置及其制备方法

本发明公开了一种多工作模式的温度检测装置及其制备方法，装置包括压电基底，以及设于压电基底上的叉指换能组件和至少一对反射栅，叉指换能组件设于成对的反射栅之间；叉指换能组件包括至少两个叉指换能器和多个开关结构，相邻两个叉指换能器之间设有开关结构，叉指换能器和反射栅在压电基底的同一声表面波传播方向上间隔排列；开关结构包括导电构件和驱动构件，导电构件位于压电基底上，并与相邻叉指换能器间隔设置，驱动构件用于驱动导电构件形变连通相邻叉指换能器，以切换工作模式。本发明具有集成度高、体积小巧的特点，并且可以按需切换两种测温工作模式，兼顾宽温域测量与高测温分辨率。