半导体管路测温装置及其测温方法、半导体薄膜设备

本发明公开了一种半导体管路测温装置及其测温方法、半导体薄膜设备，包括FBG测温光纤、光纤解调仪及主控单元，所述FBG测温光纤包括光纤本体和多个FBG光栅，多个所述FBG光栅沿所述光纤本体的长度方向间隔分布，所述光纤解调仪与所述FBG测温光纤的一端连接，用于发射光信号并采集每个所述FBG光栅的反射中心波长，所述主控单元与所述光纤解调仪连接，用于根据每个所述FBG光栅的反射中心波长解算得到对应位置的温度值。通过将多个测温光栅集成于单根光纤之上，以单根光纤实现多点位分布式温度监测，有效减少测温系统的线缆与接头数量，简化管路周边布线结构，提升设备可维护性，降低接头繁多带来的运行故障率，同时减少控制接口资源占用，提升测温可靠性。