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Dossier

晶圆凸块的局部形貌缺陷检测方法、装置、设备和介质

InventionUnknown
14Claims · 5 independent
§ Ⅰ

Dossier Overview

Applicant

匠岭科技（上海）有限公司

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Inventor

倪赛健; 唐毅成; 史其仕; 党江涛; 高海军; 王英

Filing Date

Mar 30, 2026

Publication Date

Oct 27, 2026

IPC Classification

G01N 21/95 (2006.01)H10P 74/20 (2026.01)H10P 74/00 (2026.01)G01N 21/88 (2006.01)G01B 11/06 (2006.01)G06T 7/00 (2017.01)G06T 7/62 (2017.01)

本说明书一个或多个实施例提供一种晶圆凸块的缺陷检测方法、装置、设备、介质和程序产品。该缺陷检测方法包括：获取待测晶圆表面的2D平面图像和3D高度图像，所述待测晶圆表面包括至少一个凸块；根据所述2D平面图像，确定每个凸块在图像坐标系中的区域信息；根据每个凸块在图像坐标系中的区域信息，从所述3D高度图像中提取与每个凸块对应的三维高度数据；基于提取的所述三维高度数据，对每一个所述凸块进行缺陷检测，以判定所述凸块是否存在几何尺寸缺陷和/或局部形貌缺陷。

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