一种MEMS平板电容建模方法、系统、设备及介质

本发明公开了一种MEMS平板电容建模方法、系统、设备及介质，涉及微机电系统设计技术领域，本发明改变传统PINN依赖静态、固定数据集进行训练的范式，通过主动评估、筛选模型当前预测误差最大的“困难样本”，该困难样本主要位于电场梯度极大的极板角点和边缘，并将其动态反馈回损失函数，强制神经网络在物理机理最复杂的区域进行“重点学习”，强迫模型跳出纯物理约束易导致的“平庸解”，精准捕捉了极板角点及边缘等电场剧烈变化区域的特征，从而实现对参数化平板电容的电势、电场分布、边缘场和电容的快速求解。