表面形貌测量方法

本申请提供一种基于相移干涉图的表面形貌测量方法和表面缺陷检测方法，表面形貌测量方法基于确定的缺陷区域对相移干涉图像进行修复或剔除处理，实现对待测表面的三维形貌的测量；检测方法包括获取多帧表征待测表面形貌的相移干涉图像并构建各像素位置上的灰度最大值投影图；基于灰度最大值投影图的背景区域统计特性，确定自适应分割阈值，并根据自适应分割阈值生成有效区域掩膜；在有效区域掩膜限定的有效检测区域内，计算各像素点的梯度值，并根据梯度值提取异常候选区域；根据异常候选区域的几何特征，对异常候选区域进行分类识别，以区分不同类型缺陷，提升了复杂干涉背景下缺陷检测的准确性和鲁棒性。